Please give a lot of attention and participation from the members of the Mechanical Engineering department.

▣ Title: 정밀 생산 메카트로닉스: Motor and Stage Technology in Lithography Scanners

▣ Speaker: 윤준영 교수

▣ Affiliation: 연세대학교

▣ Date: 2022. 11. 11.(Fri) 16:00

▣ Venue: 제2공학관 B040호

▣ Abstract

본 세미나에서는 정밀생산 메카트로닉스 분야의 연구를 소개함에 있어서, 반도체 생산 장비(Lithography Scanners)를 한 예로 들어 해당 장비 내에 사용되는 최첨단 메카트로닉스 기술 중 모터와 스테이지 기술을 이야기하고자 한다.