Please give a lot of attention and participation from the members of the Mechanical Engineering department.

▣ Title: Semiconductor lithography and EUV

▣ Speaker: 임창문 위원

▣ Affiliation: SK hynix

▣ Date: 2022. 4. 1.(Fri) 13:00

▣ Venue: Online(Zoom)

▣ Host: 한재원 교수

▣ Abstract

현대 사회의 필수 요소가 된 반도체의 제조 과정에서 핵심 공정 중 하나인 lithography 기술, 특히 최근 관심이 높아진 EUV 기술에 대해 소개한다. Lithography 기술이 발전해 온 과정을 되돌아보고, EUV가 등장하는 배경과 도전 과제에 대해 살펴 보며, 어떤 부분에서 기계 공학도가 기여할 수 있는지 토의해 보고자 한다.

https://yonsei.zoom.us/j/82015293645?pwd=Y2ZKbnd5K0sxb3A4VVNZZmEwcENlQT09