기계공학부 구성원들의 많은 관심과 참여 부탁드립니다.

▣ 주   제: Nano Fabrication Technology for New Applications

▣ 연   사: 임근배 교수

▣ 소   속: 포항공과대학교 기계공학과

▣ 일   시: 2023. 8. 16.(Wed) 17:00

▣ 장   소: 제4공학관 D406호

▣ 초   청: 김종백 교수

▣ 초   록

반도체 기술이 발전함에 따라 새로운 응용분야인 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 분야가 90년초반부터 각광을 받았다. 원리적인 측면으로 보면 소자/시스템이 작아질수록 성능이 개선되는 물리적 특성을 이용하는 경우가 많아서, MEMS는 새로운 학문분야로 까지 자리매김을 하게 되었다. 반면, 소자 하나하나의 공통점 (Hardware Platform)이 크지 않아 R&D 비용/기간 대비 기업의 수익성이 높지를 못하여 제품화까지 발전한 예는 매우 적으며 RF 혹은 Bio 관련 분야에 국한적으로 사용이 되어 졌다. MEMS 기술의 바이오분야 적용은 점점 넓어지고 있으며, 기술적 필요에 의해 2000년 초반 부터는 Nano기술을 접목 본격적으로 접목하기 시작하였다. Nano분야는 마이크로 와는 또 다른 물리적 특성을 나타내며 이러한 특성을 이용하면 기존의 마크로-세계에서는 전혀 불가능하였던 여러가지 원리추구 및 제품개발이 가능하다. 제작시간 및 원가도 줄일 수 있는 경우가 많아 새로운 시장의 가능성도 보여주고 있다. 본 강의에서는 이러한 원리 및 특성을 추구하기 위하여 시도된 Nano-Fabrication 의 예를 소개하고 타 기술과의 접목 나아가 현재 첨단 기술 및 제품에 있어서의 문제점 해결에 대하여 토론할 예정이다.