기계공학부 구성원들의 많은 관심과 참여 부탁드립니다.

▣ 제  목: 반도체/디스플레이 공정에서의 플라즈마 기술 및 응용

▣ 연  사: 김영주 교수

▣ 소  속: 연세대학교

▣ 일  시: 2022. 12. 2.(Fri) 17:00

▣ 장  소: 제2공학관 B040호

▣ 초  록

반도체 및 디스플레이 소자는 보다 높은 성능 확보를 위하여 다양한 소재 박막의 증착, 패터닝, 에칭 공정으로 제작된다.

이러한 공정에서 활용되는 플라즈마 기술의 원리를 이해하고, 고성능 소자 구현을 위한 스퍼터, 에처 장비에서의 응용을 논의하고자 한다.