편심형 공진기를 활용한 2축 MEMS 자기장 센서 개발

기계공학과 김종백 교수 연구팀은 정전기력으로 구동하는 편심형 공진기와 전자기 인덕터를 활용한 2축 MEMS 자기장 센서를 개발하였다. 센서의 구동주파수를 전환함으로써 직교 방향으로 공진하는 공진기를 구현하였고, 2축 자기장 감지를 실험적으로 증명하였다. 해당 연구는 전기전자공학자협회 (IEEE)가 주최하며 MEMS 분야 최고 권위 학술대회인 2024 37th IEEE MEMS Conference에 구두 발표되었다. 그리고 연구의 우수성을 인정받아 전체 659개의 Paper 중 19개의 구두 발표자에게만 수여되는 Outstanding Student Oral Presentation Award Finalist에 선정되었다.

관련 링크: https://ieeexplore.ieee.org/document/10439558