나노입자의 크기분포와 밀도를 동시에 분석가능한 MEMS 기반 분석 칩

전기하전식 측정 방식, 전기이동도 및 관성을 통한 분석 기법을 하나의 칩 상에 집적화한 MEMS 기반의 나노입자 분석칩을 개발하였음. 기준 장비와의 비교실험을 통해 30~300 nm 영역대 나노입자의 밀도, 크기분포의 높은 측정정확도를 검증하였고, 우수성을 인정받아 ACS sensors, Lab on a chip 등의 저널에 게재되었음.