나노입자 입경 분포 및 밀도 측정을 위한 MEMS기반 미세유체 칩

기계공학부 김용준 교수 연구팀은 공기중 나노입자의 물리적 특성을 분석하기 위해, 독립구동형 고정밀 MEMS기반 나노입자 분석 측정기를 개발했다. 본 연구는 측정기로 유입된 입자를 전기이동도와 관성력를 분석하는 기술을 집적화하여 하나의 칩으로 구현하였다. 전기하전식 측정법을 이용하여 측정된 전류값을 retrival algorithm을 통해 크기 분포, 총 수농도 및 평균 밀도로 환산한다. 본 연구는 우수성을 인정받아 해외 저널인 Lab on a chip에 게재되었으며, 올해의 저널 Hot article로 선정되었다.