[대학원 세미나] 9/4(금) 김석민 교수(중앙대학교 기계공학부) "Micro/Nano Manufacturing Technologies and Application"

기계공학부 구성원들의 많은 관심과 참여 부탁드립니다.

▣ 제 목: Micro/Nano Manufacturing Technologies and Application
▣ 연 사: 김석민 교수

▣ 소 속: 중앙대학교 기계공학부

▣ 일 시: 2026. 9. 4.(Fri) 13:00

▣ 장 소: 제2공학관 B040호

▣ 초 록

마이크로·나노 제조기술은 반도체, 디스플레이, 광학소자, 센서 및 바이오·의료기기 등 다양한 첨단산업의 핵심 기반기술로 활용되고 있다.

특히 소자의 고집적화와 고기능화가 지속됨에 따라 마이크로미터 및 나노미터 수준의 구조를 정밀하고 효율적으로 구현할 수 있는 제조공정의 중요성이 더욱 커지고 있다.

본 세미나에서는 마이크로·나노 제조기술의 기본 개념과 주요 공정기술을 소개하고, 각 기술의 특징과 실제 응용사례를 살펴본다.

먼저 반도체 제조공정의 전반적인 흐름을 기반으로 박막 증착, 식각, 리소그래피 등 미세구조 형성을 위한 주요 공정을 개괄한다.

이어서 빛을 이용하여 미세 패턴을 형성하는 포토리소그래피(photolithography)의 원리와 공정 특성을 설명하고,

고해상도 및 대면적 나노패턴을 경제적으로 제작할 수 있는 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography)의 원리와 응용 분야를 소개한다.

또한 유리 소재를 고온에서 성형하여 마이크로·나노 광학구조 및 정밀 광학부품을 제작하는 글라스 몰딩(glass molding) 기술을 다룬다.

이를 통해 기존 반도체 기반 미세가공기술과 복제·성형 기반 제조기술의 차이점과 상호 보완성을 이해하고,

마이크로·나노 제조기술이 반도체, 광학, 에너지, 센서 등 다양한 분야에서 어떻게 활용되고 있는지 살펴본다.

본 세미나는 보편적 제조기술로 자리잡은 마이크로·나노 제조공정에 대한 기초적인 이해에서부터 최신 응용까지 폭넓게 소개하여 다양한 기계공학분야 연구에서 활용할 수 있는 기초 지식을 제공한다.