세미나
[학부 세미나] 11/11(금) 윤준영 교수(연세대학교) "정밀 생산 메카트로닉스: Motor and Stage Technology in Lithography Scanners"
- 번호
- 113
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기계공학부 구성원들의 많은 관심과 참여 부탁드립니다.
▣ 제 목: 정밀 생산 메카트로닉스: Motor and Stage Technology in Lithography Scanners
▣ 연 사: 윤준영 교수
▣ 소 속: 연세대학교
▣ 일 시: 2022. 11. 11.(Fri) 16:00
▣ 장 소: 제2공학관 B040호
▣ 초 록
본 세미나에서는 정밀생산 메카트로닉스 분야의 연구를 소개함에 있어서, 반도체 생산 장비(Lithography Scanners)를 한 예로 들어 해당 장비 내에 사용되는 최첨단 메카트로닉스 기술 중 모터와 스테이지 기술을 이야기하고자 한다.